厚さ測定機(レーザセンサ/エアーセンサ)
主要事業・主要製品
半導体製造装置部門:エアスキャナーによる非接触厚さ測定機、薬液塗布装置、ウエハー移載機、モジュール組立機、チップ外観検査装置、自動ねじ締・ねじ外し装置、暗電流測定器
メタルボンディング装置、各設備との自動・省力化
半導体以外:タップ検査装置(ナットのバリ等外観画像検査選別)、自動コゲ取り装置(溶接後汚れ等除去)、アイライナーキャップ付組先軸圧入機、段ボール箱搬送リペア
得意技術
・搬送系:多種多様の高精度ロボットを使用した搬送系を提供
・制御・ソフト:ソフト設計、開発等
・検査・測定:多種・多品ワークの厚さ自動測定・検査機等
・溶着・加工:超音波による溶着技術等