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【真空】粉体への成膜に特化したスパッタリング装置による受託成膜。金属膜、酸化膜、窒化膜、その他化合物膜など幅広い材 料に対応可能。（応用例： 金属膜や酸化膜コートによる導電性制 御、Li イオン２次電池電極材料への保護膜形成による耐久性向上、 砥粒材料への金属膜コートによる熱伝導性向上など）
【環境】世界各国で課題となっている生ゴミと各種ゴミが混在した廃棄物問題を弊社の分別技術によって解決可能です。分別後、 乾燥・炭化等まで一貫して行い再資源化を実現します。
「特許」4 件（海外特許含む） 及び「実用新案」2 件保持。

【真空】粉体スパッタリング装置を用いた粉末の受託成膜

　
【環境】破砕分別機、縦型間接加熱乾燥機・炭化装置を中心としたリ サイクルシステムのエンジニアリングサービス「設計・ファブレス製 造・販売」

破砕分別機

縦型間接加熱乾燥機

【真空】自動車・電池・化学・宝飾・砥粒等の各企業の研究機関、大学
【環境】食品メーカー・ホテル・レストラン等外食産業、コンビニ・ スーパー等の流通業界、廃棄物処理業界

【真空】粉体スパッタリング装置での成膜受託を重ね、成膜材料の種類の増加、また様々な業界への受託加工により、成膜への知見を広げ利用範囲の拡大と装置の販売を促進します。
【環境】BRICS ・グローバルサウス等に向けた環境改善の普及を図るため、機器輸出や現地進出ではなく環境技術を現地に移 転し、現地生産の指導・支援を通して現地化を目指します。

成膜事例： 球形粉体へのNi成膜 （膜厚約50nm）

成膜事例： 不定形粉体へのTi成膜 （膜厚約100nm）

【環境】中国においては2020 年に福建シェラトンホテル（小型分別・ 乾燥システム）、2022 年には山西省大同市に大型生ごみ処理プラントを納入。2023 年度は汚泥の資源化、その他東南アジア及び中南米等 からの引き合いもあります。

【真空】令和２年～現在　神奈川県立産業技術総合研究所　製品化支援事業

【真空】主要設備： 粉体スパッタリング装置、卓上SEM ・EDX 装置 研究体制： 神奈川大学との共同研究、神奈川県立産業技術総合研究所より粉体スパッタリング装置開発について協力を得ています。
【環境】製造工場との連携による生産体制（ファブレス）
研究体制： 中国北京大学との「廃棄物再資源化」共同開発契約済。

【真空】自動車業界、化学業界、砥粒業界等

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